真空的定義及單位
當(dāng)一個(gè)容器內(nèi)空間的壓力小於一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力（atm）時(shí)即被定義為真空（Vacuum）。因?yàn)檎婵蘸蛪毫τ嘘P(guān)，因此真空度即代表真空系統(tǒng)中壓力的程度。意即較低的真空度表示較高的壓力，較高的真空度表示較低的壓力。另可用單位體積內(nèi)氣體分子密度來(lái)表示真空度；一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體分子密度為 2.5× molecules/cm3，真空度越高，則單位體積內(nèi)的氣體分子密度越低。目前表示真空度的壓力單位以托耳（ Torr ） 以及國(guó)際壓力單位，帕Pascal （Pa） zui為常見(jiàn)，其定義為： 1atm=760mmHg=760Torr
atm kgf/cm2 lbf/in2 inHg Torr mbar mmAq Pa
真空泵浦的選用
真空泵zui重要的性能規(guī)格為終極壓力（ Ultimate Pressure） 以及排氣速度（ Pumping Speed） 。終極壓力指真空泵可抽到的zui低壓力或稱zui高真空（ Max. Vacuum）；排氣速度則是指單位時(shí)間內(nèi)泵浦進(jìn)氣口的容積流量大小，通常以或L/ min表示，而排氣速度之大小會(huì)影響真空系統(tǒng)到達(dá)真空度所需要的時(shí)間。
真空泵浦依真空度來(lái)區(qū)分可分為低真空泵浦（1000~1 mba）、中真空泵浦（（1— mba）、高真空泵浦（ ~ mba）以及超高真空泵浦（< mba）。由於氣體在低真空時(shí)屬黏滯流（Viscous Flow），氣體的物理行為可視為連續(xù)（Continuum） ，真空泵浦可利用機(jī)械容積變化進(jìn)行吸氣、壓縮及排氣的方式抽氣；當(dāng)氣體於中真空環(huán)境時(shí)，氣體行為變?yōu)檫^(guò)渡流（Transition Flow）形態(tài)，其特性較為複雜，目前中真空之下工作壓力以魯式真空泵、油迴轉(zhuǎn)真空泵以及螺旋式真空泵的抽氣效率較佳；而氣體於高真空及超高真空時(shí)屬分子流（Molecular Flow）或自由分子流（Free Molecular Flow）形態(tài)，氣體分子密度甚低，分子可運(yùn)動(dòng)較長(zhǎng)距離不會(huì)發(fā)生碰撞，因此氣體之型態(tài)不被視為連續(xù)，此時(shí)真空泵浦必須考慮氣體分子運(yùn)動(dòng)及其路徑設(shè)計(jì)抽氣方式。
真空泵浦依排氣方式可分為排氣式及儲(chǔ)氣式泵浦。其中排氣式泵浦因操作原理不同又可區(qū)分為正排氣型泵浦（Positive Displacement Pump） 以及氣體分子動(dòng)力式真空泵浦（Kinetic Pump）。由於不同的氣體在不同的壓力下會(huì)表現(xiàn)不同的物理特性，因此真空泵浦在不同壓力下必須採(cǎi)用不同的排氣方法以獲得*的工作效率。所以，沒(méi)有任何一種真空泵浦的機(jī)械結(jié)構(gòu)可勝任從大氣壓力到高真空的操作範(fàn)圍。我們?cè)谶x用真空泵浦時(shí)必須依真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的工作壓力範(fàn)圍、用途來(lái)做zui適當(dāng)?shù)倪x擇。
正排氣型真空泵浦由於發(fā)展zui早，因此在產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用zui廣泛，應(yīng)用技術(shù)也zui成熟。在性能上，正排氣型的真空泵浦，其終極壓力及排氣速度可依據(jù)國(guó)際規(guī)範(fàn)ISO1607 標(biāo)準(zhǔn)來(lái)作測(cè)定。本公司的真空泵浦屬於正排氣型泵浦，以下對(duì)正排氣型真空泵浦作一簡(jiǎn)單介紹：
正排氣型泵浦屬於中低真空度的泵浦，其抽氣工作壓力範(fàn)圍可從一大氣壓到 Torr，有些機(jī)型甚至可到 Torr。正排氣型泵浦抽氣速率依泵浦大小及構(gòu)造從每分鐘數(shù)十公升到2、3萬(wàn)公升不等，是中低真空系統(tǒng)中的主要泵浦。另外，正排氣型泵浦在高真空及超高真空系統(tǒng)中經(jīng)常扮演真空粗抽（Roughing）及前級(jí)泵浦（Backing Pump）的角色。正排氣型泵浦依泵浦腔室是否有液體潤(rùn)滑和密封之分別，又可分為油（液）封式真空泵浦以及乾式泵浦兩大類：
油（液）封式真空泵依作動(dòng)方式不同又可分為旋轉(zhuǎn)式泵浦（Rotary Pump）及往復(fù)式泵浦（Reciprocating Pump）兩種。旋轉(zhuǎn)式泵浦係藉泵浦機(jī)殼內(nèi)轉(zhuǎn)子（Rotor） 和靜子（Stator）連續(xù)接觸進(jìn)行進(jìn)氣、壓縮及排氣行程。常見(jiàn)的泵浦有液（水）封式真空泵（ Liquid-ring Vacuum Pump）、油迴轉(zhuǎn)葉片型真空泵（ Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump）、油迴轉(zhuǎn)滑動(dòng)葉片型真空泵（ Oil-sealed Sliding-vane Vacuum Pump）以及油迴轉(zhuǎn)柱塞型真空泵（Oil-sealed Rotary-plunger Vacuum Pump）等。往復(fù)式泵浦以馬達(dá)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)桿之旋轉(zhuǎn)，經(jīng)由連桿（Coupler）帶動(dòng)活塞在汽缸中做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，如本公司的VS、VSW型泵浦。除液封式真空泵以製程液體作為封液外，其他幾種真空泵浦都必須搭配真空油或潤(rùn)滑油來(lái)從事潤(rùn)滑、排熱、密封以及防蝕作用，因此油品的選用也關(guān)係到真空泵的性能表現(xiàn)。
乾式真空泵依機(jī)械結(jié)構(gòu)不同可分為魯式（Roots）、爪式（Claw）、螺旋式（Screw）、渦卷式（Scroll）以及薄膜式（Diaphragm）幾種。其中魯式泵浦在真空系統(tǒng)中廣泛用作助力泵浦（Booster Pump），可適度提高真空系統(tǒng)的抽氣效率。近年來(lái)由於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起，半導(dǎo)體製程中真空系統(tǒng)的潔淨(jìng)度受到很大的重視，相較於油（液）封式真空泵在製程中有可能因油水氣回流造成污染問(wèn)題，乾式真空泵在泵浦進(jìn)氣、壓縮、排氣行程中並無(wú)液體潤(rùn)滑或密封，因此在維持真空系統(tǒng)潔淨(jìng)度上比油（液）封式真空泵的表現(xiàn)要好很多，而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等被廣泛應(yīng)用，其中螺旋式真空泵本身在維修便利性及耗能表現(xiàn)上的優(yōu)勢(shì)，近來(lái)已漸成為市場(chǎng)的主流
